bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИР10.35596/1729-7648-2019-123-5-72-78bsuir-1154Research ArticleЭЛЕКТРОНИКА, РАДИОФИЗИКА, РАДИОТЕХНИКА, ИНФОРМАТИКАELECTRONICS, RADIOPHYSICS, RADIOENGINEERING, INFORMATICSВлияние поверхностного потенциала анодных алюмооксидных пленок на их зарядовые свойстваEffect of surface potential of anodic alumina film on their charge propertiesВиЛе ДиньViLe Dinh

Доктор физико-математических наук, профессор, заведующий НИЛ 4.12 НИЧ.

20013, Минск, ул. П. Бровки, 6

PG student of micro- and nanoelectronics department.

220013, Minsk, P. Brovka st., 6

levi.ntv@gmail.comКупрееваО. В.KupreevaO. V.

Научный сотрудник НИЛ 4.12 НИЧ.

20013, Минск, ул. П. Бровки, 6

Researcher of SRL 4.12 of R&D department.

220013, Minsk, P. Brovka st., 6

ДудичВ. В.DudichV. V.

Магистрант кафедры микро-и наноэлектроники.

20013, Минск, ул. П. Бровки, 6

Master student of micro- and nanoelectronics department.

220013, Minsk, P. Brovka st., 6

ФилипеняВ. А.FilipenyaV. A.

Ведущий инженер

ЛазарукС. К.LazaroukS. K.

Доктор физико-математических наук, профессор, заведующий НИЛ 4.12 НИЧ.

20013, Минск, ул. П. Бровки, 6

D.Sci, professor, head of SRL 4.12 of R&D department.

220013, Minsk, P. Brovka st., 6

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarusian state university of informatics and radioelectronicsНаучно-технический центр «БМА» филиала «Белмикросистемы», ОАО ИнтегралScientific and technical center «BMA» of branch «Belmicrosystems», OJSC Integral201903072019057278Copyright © Ви Л., Купреева О.В., Дудич В.В., Филипеня В.А., Лазарук С.К., 20192019Ви Л., Купреева О.В., Дудич В.В., Филипеня В.А., Лазарук С.К.Vi L., Kupreeva O.V., Dudich V.V., Filipenya V.A., Lazarouk S.K.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/1154

Представлены результаты исследования поверхностного потенциала анодных алюмооксидных пленок и их зарядовых свойств. Показано, что поверхностный потенциал анодных алюмооксидных пленок сразу после окончания анодного процесса имеет положительное значение, но с течением времени этот потенциал уменьшается до нулевого уровня с последующим переходом в область отрицательных значений. Установлено, что отрицательное смещение поверхностного потенциала связано с отрицательным встроенным электрическим зарядом анодного оксида алюминия. Предложен механизм перехода от положительного встроенного электрического заряда к отрицательному внутри анодных оксидов. Установлено, что наибольшая плотность отрицательного заряда наблюдается в пленках, сформированных в электролитах на основе водных растворов лимонной и ортофосфорной кислот.

The surface potential of anodic alumina films and their charge properties have been studied. The surface potential of anodic alumina films after anodic process has positive values, but then this potential is decreased to zero level with subsequent transition to negative values. The negative displacement of the surface potential is associated with a negative built-in electric charge of aluminum anodic oxide. The mechanism of transition from the positive built-in electric charge to the negative one inside the anodic oxides is proposed. The highest density of the negative charge is observed in the films formed in electrolytes based on the aqueous solutions of the citric and phosphoric acids.

анодный оксид алюминиявстроенный электрический зарядповерхностный потенциалanodic aluminabuilt-in electric chargesurface potentialReferencesNanoporous alumina as templates for multifunctional applications / C.T. Sousa [et al.] // Applied Physics Reviews. 2014. Vol. 1, No. 031102. P. 1-22.Nanoporous alumina as templates for multifunctional applications / C.T. Sousa [et al.] // Applied Physics Reviews. 2014. Vol. 1, No. 031102. P. 1-22.Effect of flattened surface morphology of anodized aluminum oxide templates on the magnetic properties of nanoporous Co/Pt and Co/Pd thin multilayered films / T.N. Anh Nguyen [et al.] // Appl. Surf. Sci. 2018. Vol. 427. P. 649-655.Effect of flattened surface morphology of anodized aluminum oxide templates on the magnetic properties of nanoporous Co/Pt and Co/Pd thin multilayered films / T.N. Anh Nguyen [et al.] // Appl. Surf. Sci. 2018. Vol. 427. P. 649-655.Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.: Высш. школа, 1979. 367 с.Kurnosov A.I., Judin V.V. Tehnologija proizvodstva poluprovodnikovyh priborov i integral'nyh shem. M.: Vyssh. shkola, 1979. 367 s. (in Russ.)Formation and disruption of current paths of anodic porous alumina films by conducting atomic force microscopy / K. Oyoshi [et al.] // Applied Surface Science. 2010. Vol. 257. P. 837-841.Formation and disruption of current paths of anodic porous alumina films by conducting atomic force microscopy / K. Oyoshi [et al.] // Applied Surface Science. 2010. Vol. 257. P. 837-841.Structural analysis of anodic porous alumina used for resistive random access memory / Jeungwoo Lee [et al.] // Science and Technology of Advanced Material. 2010. Vol. 11. No. 025002.Structural analysis of anodic porous alumina used for resistive random access memory / Jeungwoo Lee [et al.] // Science and Technology of Advanced Material. 2010. Vol. 11, No. 025002.Formation of an Array of Memristor Structures Using a Self-Assembly Matrix of Porous Anodic Aluminum Oxide / A.N. Belov [et al.] // Nanotechnologies in Russia. 2018. Vol. 13. P. 34-37.Formation of an Array of Memristor Structures Using a Self-Assembly Matrix of Porous Anodic Aluminum Oxide / A.N. Belov [et al.] // Nanotechnologies in Russia. 2018. Vol. 13. P. 34-37.Зи С. Физика полупроводниковых приборов: в 2-х кн. Кн. 1. М.: Мир, 1984. 456 с.Zi S. Fizika poluprovodnikovyh priborov: v 2-h kn. Kn. 1. M.: Mir, 1984. 456 s. (in Russ.)Stored charge and its influence on properties of anodic alumina films / I. Vrublevsky [et al.] // Current Nanoscience. 2018. Vol. 14. P. 1-10.Stored charge and its influence on properties of anodic alumina films / I. Vrublevsky [et al.] // Current Nanoscience. 2018. Vol. 14. P. 1-10.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.