1. Nevlyudov I.Sh., Palagin V.A., Chalaya E.A. Tekhnologiii mikrosistemnoi tekhniki // Tekhnologiya priborostoeniya. 2014. № 3. S. 7-11.
2. Semenets' V.V., Nevlyudov І.Sh., Palagіn V.A. Vvedennya v mіkrosistemnu tekhnіku ta nanotekhnologії. Navchal'nii posіbnik. Kharkіv: «SMІT», 2011. 416 s.
3. Filipenko A.I., Chalaya E.A., Videshin M.I. Matematicheskoe modelirovanie metodom Monte-Karlo zavisimosti napravlyayushchei sposobnosti opticheskikh komponentov MOEMS-pereklyuchatelei pri izmenenii ikh parametrov pozitsionirovaniya // Tekhnologiya priborostroeniya». 2016. № 2. S. 32-35.
4. Lantsov V.N. Rudakov O.V., Maskeev S.V. Sostoyanie v oblasti proektirovaniya mikroelektromekhanicheskikh sistem. Vladimir, 2009. 31 s.
5. Filipenko O.I., Chala O.O., Vіdeshin M.I. Tekhnologіchnі defekti virobnitstva kremnієvikh pіdkladok dlya funktsіonal'nikh vіdbivayuchikh poverkhon' MOEMS-peremikachіv // Sistemi upravlіnnya, navіgatsії ta zv’yazku. Zbіrnik naukovikh prats'. 2017. T. 2 (42). S. 61-63.
6. Micromachined Bulk Wave Acoustic Bandgap Devices / R.H. Olsson [et al.] // Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. June 2007. P. 317-321.
7. Filipenko O.І., Chala O.O., Vіdeshin M.І. Tekhnologіchnі faktori virobnitstva, shcho vplivayut' na yakіst' pokrittіv dzerkal'nikh poverkhon' MOEMS-peremikachіv // Naukovі notatki. 2017. Vip. 57. S. 178-183.
8. Mikroopticheskie ustroistva na osnove otrazhayushchikh elementov mikrozerkal / E.S. Gornev [i dr.] // Mikrosistemnaya tekhnika. 2002. № 9. S. 29-34.