bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-1013Research ArticleСтатьиМОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ОТРАЖАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ МИКРОЗЕРКАЛ ОПТОВОЛОКОННЫХ КОМПОНЕНТОВ ОТ ИХ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВModeling dependency of micromirrors reflection in optical fibers components on the geometrical parametersФилипенкоА. И.FilipenkoO. I.noemail@neicon.ruЧалаяЕ. А.ChalaO. O.olena.chala@nure.uaХрусталевК. Л.KhrustalevK. L.noemail@neicon.ruХарьковский национальный университет радиоэлектроники, УкраинаBelarus201803062019056571Copyright © Филипенко А.И., Чалая Е.А., Хрусталев К.Л., 20192019Филипенко А.И., Чалая Е.А., Хрусталев К.Л.Filipenko O.I., Chala O.O., Khrustalev K.L.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/1013

Целью исследования является определение зависимости геометрических параметров компонентов МЭМС-зеркал в оптоэлектромеханических переключателях к оптическим потерям, возникающим в этих системах. Показано, что геометрические параметры: шероховатость и кривизна зеркал, возникающие на этапах их технологического производства, непосредственно влияют на потери в оптических линиях связи. Проведено моделирование зависимости отражательной способности микрозеркал от величин шероховатости и кривизны.

The main goal of investigation is defining dependency of geometrical parameters of MEMS-mirrors components in opto-electro-mechanical switches to losses appeared in such systems. Geometrical parameters of mirrors such as roughness and curvature, which had appeared on stage of development, have influence on losses in fiber-optic communication lines. The modeling dependency of reflection possibility of micro-mirrors to values of roughness and curvature has been conducted.

переключательзеркалоотражающая поверхностьшероховатостькривизнапотериswitchmirrorreflecting surfaceroughnesscurvaturelossReferencesНевлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. Технологиии микросистемной техники // Технология приборостоения. 2014. № 3. С. 7-11.Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. Технологиии микросистемной техники // Технология приборостоения. 2014. № 3. С. 7-11.Семенець В.В., Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології. Навчальний посібник. Харків: «СМІТ», 2011. 416 с.Семенець В.В., Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології. Навчальний посібник. Харків: «СМІТ», 2011. 416 с.Филипенко А.И., Чалая Е.А., Видешин М.И. Математическое моделирование методом Монте-Карло зависимости направляющей способности оптических компонентов МОЭМС-переключателей при изменении их параметров позиционирования // Технология приборостроения». 2016. № 2. С. 32-35.Филипенко А.И., Чалая Е.А., Видешин М.И. Математическое моделирование методом Монте-Карло зависимости направляющей способности оптических компонентов МОЭМС-переключателей при изменении их параметров позиционирования // Технология приборостроения». 2016. № 2. С. 32-35.Ланцов В.Н. Рудаков О.В., Маскеев С.В. Состояние в области проектирования микроэлектромеханических систем. Владимир, 2009. 31 с.Ланцов В.Н. Рудаков О.В., Маскеев С.В. Состояние в области проектирования микроэлектромеханических систем. Владимир, 2009. 31 с.Филипенко O.I., Чала O.O., Відешин M.I. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів // Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. 2017. Т. 2 (42). С. 61-63.Филипенко O.I., Чала O.O., Відешин M.I. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів // Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. 2017. Т. 2 (42). С. 61-63.Micromachined Bulk Wave Acoustic Bandgap Devices / R.H. Olsson [et al.] // Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. June 2007. P. 317-321.Micromachined Bulk Wave Acoustic Bandgap Devices / R.H. Olsson [et al.] // Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. June 2007. P. 317-321.Филипенко О.І., Чала О.О., Відешин М.І. Технологічні фактори виробництва, що впливають на якість покриттів дзеркальних поверхонь МОЕМС-перемикачів // Наукові нотатки. 2017. Вип. 57. С. 178-183.Филипенко О.І., Чала О.О., Відешин М.І. Технологічні фактори виробництва, що впливають на якість покриттів дзеркальних поверхонь МОЕМС-перемикачів // Наукові нотатки. 2017. Вип. 57. С. 178-183.Микрооптические устройства на основе отражающих элементов микрозеркал / Е.С. Горнев [и др.] // Микросистемная техника. 2002. № 9. С. 29-34.Микрооптические устройства на основе отражающих элементов микрозеркал / Е.С. Горнев [и др.] // Микросистемная техника. 2002. № 9. С. 29-34.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.