Modeling dependency of micromirrors reflection in optical fibers components on the geometrical parameters
Abstract
The main goal of investigation is defining dependency of geometrical parameters of MEMS-mirrors components in opto-electro-mechanical switches to losses appeared in such systems. Geometrical parameters of mirrors such as roughness and curvature, which had appeared on stage of development, have influence on losses in fiber-optic communication lines. The modeling dependency of reflection possibility of micro-mirrors to values of roughness and curvature has been conducted.
About the Authors
O. I. Filipenko
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Belarus
Belarus
O. O. Chala
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Belarus
Belarus
K. L. Khrustalev
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Belarus
Belarus
References
1. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. Технологиии микросистемной техники // Технология приборостоения. 2014. № 3. С. 7-11.
2. Семенець В.В., Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології. Навчальний посібник. Харків: «СМІТ», 2011. 416 с.
3. Филипенко А.И., Чалая Е.А., Видешин М.И. Математическое моделирование методом Монте-Карло зависимости направляющей способности оптических компонентов МОЭМС-переключателей при изменении их параметров позиционирования // Технология приборостроения». 2016. № 2. С. 32-35.
4. Ланцов В.Н. Рудаков О.В., Маскеев С.В. Состояние в области проектирования микроэлектромеханических систем. Владимир, 2009. 31 с.
5. Филипенко O.I., Чала O.O., Відешин M.I. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів // Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. 2017. Т. 2 (42). С. 61-63.
6. Micromachined Bulk Wave Acoustic Bandgap Devices / R.H. Olsson [et al.] // Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. June 2007. P. 317-321.
7. Филипенко О.І., Чала О.О., Відешин М.І. Технологічні фактори виробництва, що впливають на якість покриттів дзеркальних поверхонь МОЕМС-перемикачів // Наукові нотатки. 2017. Вип. 57. С. 178-183.
8. Микрооптические устройства на основе отражающих элементов микрозеркал / Е.С. Горнев [и др.] // Микросистемная техника. 2002. № 9. С. 29-34.
Review
For citations:
Filipenko O.I., Chala O.O., Khrustalev K.L. Modeling dependency of micromirrors reflection in optical fibers components on the geometrical parameters. Doklady BGUIR. 2018;(5):65-71. (In Russ.)
Views: 338
Email this article 