МОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ОТРАЖАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ МИКРОЗЕРКАЛ ОПТОВОЛОКОННЫХ КОМПОНЕНТОВ ОТ ИХ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
Аннотация
Целью исследования является определение зависимости геометрических параметров компонентов МЭМС-зеркал в оптоэлектромеханических переключателях к оптическим потерям, возникающим в этих системах. Показано, что геометрические параметры: шероховатость и кривизна зеркал, возникающие на этапах их технологического производства, непосредственно влияют на потери в оптических линиях связи. Проведено моделирование зависимости отражательной способности микрозеркал от величин шероховатости и кривизны.
Об авторах
А. И. Филипенко
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Беларусь
Беларусь
Е. А. Чалая
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Беларусь
Беларусь
К. Л. Хрусталев
Харьковский национальный университет радиоэлектроники, Украина
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. Технологиии микросистемной техники // Технология приборостоения. 2014. № 3. С. 7-11.
2. Семенець В.В., Невлюдов І.Ш., Палагін В.А. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології. Навчальний посібник. Харків: «СМІТ», 2011. 416 с.
3. Филипенко А.И., Чалая Е.А., Видешин М.И. Математическое моделирование методом Монте-Карло зависимости направляющей способности оптических компонентов МОЭМС-переключателей при изменении их параметров позиционирования // Технология приборостроения». 2016. № 2. С. 32-35.
4. Ланцов В.Н. Рудаков О.В., Маскеев С.В. Состояние в области проектирования микроэлектромеханических систем. Владимир, 2009. 31 с.
5. Филипенко O.I., Чала O.O., Відешин M.I. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь МОЕМС-перемикачів // Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. 2017. Т. 2 (42). С. 61-63.
6. Micromachined Bulk Wave Acoustic Bandgap Devices / R.H. Olsson [et al.] // Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. June 2007. P. 317-321.
7. Филипенко О.І., Чала О.О., Відешин М.І. Технологічні фактори виробництва, що впливають на якість покриттів дзеркальних поверхонь МОЕМС-перемикачів // Наукові нотатки. 2017. Вип. 57. С. 178-183.
8. Микрооптические устройства на основе отражающих элементов микрозеркал / Е.С. Горнев [и др.] // Микросистемная техника. 2002. № 9. С. 29-34.
Рецензия
Для цитирования:
Филипенко А.И., Чалая Е.А., Хрусталев К.Л. МОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ОТРАЖАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ МИКРОЗЕРКАЛ ОПТОВОЛОКОННЫХ КОМПОНЕНТОВ ОТ ИХ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ. Доклады БГУИР. 2018;(5):65-71.
For citation:
Filipenko O.I., Chala O.O., Khrustalev K.L. Modeling dependency of micromirrors reflection in optical fibers components on the geometrical parameters. Doklady BGUIR. 2018;(5):65-71. (In Russ.)
Просмотров: 329
Послать статью по эл. почте 