FORMATION FEATURES AND PROPERTIES OF TITANIUM DIOXIDE FILMS
Abstract
The study results of titanium dioxide thin film coatings formulated by various methods: by long oxidation of titanium metal films in the air, anodizing, pulsed thermal oxidation, sol-gel method are given. The optimal modes of formation are determined, barrier properties are compared, gas sensing characteristics of doped titanium dioxide films are studied.
About the Authors
M. O. Molodzechkin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
V. A. Bogush
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Борило Л.П. Тонкопленочные неорганические наносистемы. Томск, 2012.
2. Борисенко А.И., Новиков В.В., Приходько Н.Е. и др. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. Л., 1972.
3. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных плёнок. Л., 1972.
4. Технология формирования покрытий на основе окислов циркония и титана / Под ред. Л.М. Лынькова. Минск, 2001.
5. Мычко Д.И., Боборико Н.Е., Каркоцкий Г.Ф. и др. // Сб. ст. «Свиридовские чтения». 2012. Вып. 8. С. 109.
6. Молодечкина Т.В., Васюков А.В., Лыньков Л.М. и др. // Матер. IV Междунар. экологического симпозиума «Региональные проблемы экологии: пути решения». Новополоцк, 2007. С. 90-92.
7. Молодечкин М.О. // Вестник ПГУ. Серия В. Промышленность. Прикладные науки. 2014. Т. 1, № 3. С. 67-73.
8. Холленд Д. Нанесение тонких пленок в вакууме. М., 1963.
9. Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Мейселал, Р. Глэнга. М., 1977.
10. Юнг Л. Анодные окисные пленки. Л., 1967.
11. Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Киев, 2008.
Review
For citations:
Molodzechkin M.O., Bogush V.A. FORMATION FEATURES AND PROPERTIES OF TITANIUM DIOXIDE FILMS. Doklady BGUIR. 2015;(8):93-98. (In Russ.)
Views: 1476
Email this article 