ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК ДИОКСИДА ТИТАНА
Аннотация
Приведены результаты исследования тонкопленочных покрытий диоксида титана, сформированных различными методами: длительным окислением металлических пленок титана на воздухе, анодированием, импульсным термическим окислением, золь-гель методом. Установлены оптимальные режимы формирования, проведено сравнение барьерных свойств, исследованы газочувствительные характеристики легированных пленок диоксида титана.
Ключевые слова
Об авторах
М. О. Молодечкин
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. А. Богуш
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Борило Л.П. Тонкопленочные неорганические наносистемы. Томск, 2012.
2. Борисенко А.И., Новиков В.В., Приходько Н.Е. и др. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. Л., 1972.
3. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных плёнок. Л., 1972.
4. Технология формирования покрытий на основе окислов циркония и титана / Под ред. Л.М. Лынькова. Минск, 2001.
5. Мычко Д.И., Боборико Н.Е., Каркоцкий Г.Ф. и др. // Сб. ст. «Свиридовские чтения». 2012. Вып. 8. С. 109.
6. Молодечкина Т.В., Васюков А.В., Лыньков Л.М. и др. // Матер. IV Междунар. экологического симпозиума «Региональные проблемы экологии: пути решения». Новополоцк, 2007. С. 90-92.
7. Молодечкин М.О. // Вестник ПГУ. Серия В. Промышленность. Прикладные науки. 2014. Т. 1, № 3. С. 67-73.
8. Холленд Д. Нанесение тонких пленок в вакууме. М., 1963.
9. Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Мейселал, Р. Глэнга. М., 1977.
10. Юнг Л. Анодные окисные пленки. Л., 1967.
11. Кузьмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Киев, 2008.
Рецензия
Для цитирования:
Молодечкин М.О., Богуш В.А. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК ДИОКСИДА ТИТАНА. Доклады БГУИР. 2015;(8):93-98.
For citation:
Molodzechkin M.O., Bogush V.A. FORMATION FEATURES AND PROPERTIES OF TITANIUM DIOXIDE FILMS. Doklady BGUIR. 2015;(8):93-98. (In Russ.)
Просмотров: 1464
Послать статью по эл. почте 