ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПРЯМЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ИОННЫХ ПУЧКОВ
Аннотация
Исследовано влияние парциального давления смеси моносилана и аргона и температуры подложки на оптические характеристики тонкопленочных покрытий из диоксида кремния, полученных прямым осаждением из ионных пучков на подложках из стекла и кремния с использованием торцевого холловского ускорителя в качестве источника ионов. Установлено, что увеличение парциального давления смеси моносилана и аргона приводит к росту скорости нанесения и коэффициента преломления и снижению оптического пропускания покрытий. Повышение температуры подложки способствовало улучшению оптических характеристик слоев диоксида кремния, что объясняется увеличением подвижности адатомов и стимулированием химического взаимодействия между кремнием и кислородом.
Об авторах
Е. В. Телеш
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. П. Достанко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. Ю. Вашуров
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Достанко А.П., Бордусов С.В., Залесский В.Г. и др. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые. Минск, 2009.
2. Nagendra C., Thutupalli G. et al. // Bull. Mater. Sci. 1986. Vol. 8, № 3. P. 351-355.
3. Emiliani G, Scaglione S. // J. Vac. Sci. Technol. 1987. A 5(4). P. 1824-1827.
4. Литвиненко В.В., Родионов В.Е., Родионова Н.А. и др. // Физическая инженерия поверхности. 2011. Т. 9, № 4. С. 346-349.
5. Xiliang H., Jiehua W., Lingnan W. et al. // Appl. Surface Sci. 2008. Vol. 252, P. 1730-1735.
6. Телеш Е.В., Вашуров А.Ю. // Матер. II Всеросс. научн. интернет. конф. с междунар. участием «Спектрометрические методы анализа». Казань, сентябрь 2014 г. С. 154-157.
Рецензия
Для цитирования:
Телеш Е.В., Достанко А.П., Вашуров А.Ю. ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПРЯМЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ИОННЫХ ПУЧКОВ. Доклады БГУИР. 2015;(8):81-85.
For citation:
Telesh E.V., Dostanko A.P., Vashurov A.Y. OPTICAL PERFORMANCES OF SILICON DIOXIDE THIN FILMS RECEIVED BY DIRECT DEPOSITION FROM ION BEAMS. Doklady BGUIR. 2015;(8):81-85. (In Russ.)
Просмотров: 334
Послать статью по эл. почте 