Для цитирования:

Лаппо А.И. Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке. Доклады БГУИР. 2024;22(6):38-44. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44

For citation:

Lapo A.I. Selecting the Trajectory of the Laser Beam to Form Vias in the Silicon Substrate. Doklady BGUIR. 2024;22(6):38-44. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44