Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

Стабилизация шумовых параметров при отжиге высоколегированных структур диодов – генераторов шума

https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-6-32-41

Полный текст:

Аннотация

Стабилизация остаточных точечных дефектов на финишных этапах изготовления шумовых диодов может быть обеспечена подбором соответствующих режимов отжига и среды его проведения. Предложен метод и технология снижения концентрации точечных дефектов в структуре p-n-перехода с учетом содержания в структурах примесей вторичных металлов, кислорода и азота. Установлено, что отжиг готовых структур и диодов генераторов шума в среде азота при температурах 450…600 °С в течение (80 ± 3) мин приводит к повышению спектральной плотности шума и значительному (почти двукратному) снижению ее неравномерности. Важнейшим результатом этого отжига является снижение разброса средних значений исследуемых параметров шума: по эффективному напряжению шума – на 61,2 %; по спектральной плотности – на 34,2 %; по граничной частоте сигнала – на 34,9 %; по нелинейности спектральной плотности – на 25,9 %. Это позволяет улучшить качество случайных числовых последовательностей в программно-аппаратных комплексах защиты информации.

Об авторах

В. В. Буслюк
Брестский государственный технический университет
Беларусь

Заведующий лабораторией, доцент кафедры электронных вычислительных машин и систем

Брест



В. А. Емельянов
ОАО «ИНТЕГРАЛ»
Беларусь

Доктор технических наук, профессор, чл.-корр. НАН Беларуси, главный специалист

Минск



В. В. Баранов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь

Доктор технических наук, профессор, профессор кафедры проектирования информационно-компьютерных систем

Минск



С. С. Дереченник
Брестский государственный технический университет
Беларусь

Дереченник Станислав Станиславович, кандидат технических наук, доцент, заведующий кафедрой электронных вычислительных машин и систем

224017, г. Брест, ул. Московская, 267



В. С. Просолович
Белорусский государственный университет
Беларусь

Кандидат физико-математических наук, доцент, заведующий НИЛ спектроскопии полупроводников, доцент кафедры физики полупроводников и наноэлектроники

Минск



Список литературы

1. Буслюк В.В., Оджаев В.Б., Панфиленко А.К., Петлицкий А.Н., Просолович В.С., Филипеня В.А., Янковский Ю.Н. Электрофизические параметры диодов генераторов широкополосного шума. Микроэлектроника. 2020;49(4):314-320.

2. Лабунов В.А. Баранов И.Л., Бондаренко В.П., Дорофеев А.М. Современные методы геттерирования в технологии полупроводниковой электроники. Зарубежная электронная техника. 1983;11(270):3-66.

3. Вабищевич Н.В., Бринкевич Д.И., Просолович В.С. Кислородные преципитаты и формирование термодоноров в кремнии. Физика и техника полупроводников.1998;32(6):712-713.

4. Просолович В.С., Янковский Ю.Н. Дефектно-примесное взаимодействие в полупроводниках. Минск: БГУ; 2009.

5. Vasil’ev Yu.B., Verezub N.A., Mezennyi M.V., Prosolovich V.S., Prostomolotov A.I., Reznik V.Ya. Features of defect formation under the thermal treatment of dislocation-free single-crystals large-diameter silicon wafers with the specified distribution of oxygen-containing gettering centers in the bulk. Russian microelectronics. 2013;42(8):467-476.

6. Челядинский А.Р., Явид В.Ю., Венгерэк П. Накопление радиационных дефектов в кремнии при имплантации ионов азота. 5-я международная конференция «Взаимодействие излучений с твердым телом». Минск; 2003: 206-208.

7. Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП транзисторов. Москва: Техносфера; 2011.

8. Разумейчик В.С., Буслюк В.В., Дереченник С.С., Поляков В.И., Лапич С.В. Оценка вероятностных характеристик случайных сигналов микроэлектронного шумового модуля. Вестник Брестского государственного технического университета. 2014;5(89):41-45.

9. Пикуза М.О., Михневич С.Ю. Тестирование аппаратного генератора случайных чисел при помощи набора статистических тестов NIST. Доклады БГУИР. 2021;19(4):37-42.

10. Железняк В.К., Раханов К.Я., Рябенко Д.С., Буслюк В.В., Ворончук С.И., Лешкевич И.В., Дереченник С.С. Концепция оценки для оперативного контроля источников шумового сигнала. XVI научно-практическая конференция «Комплексная защита информации». Минск; 2011: 273-276.


Для цитирования:


Буслюк В.В., Емельянов В.А., Баранов В.В., Дереченник С.С., Просолович В.С. Стабилизация шумовых параметров при отжиге высоколегированных структур диодов – генераторов шума. Доклады БГУИР. 2021;19(6):32-41. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-6-32-41

For citation:


Busliuk V.V., Emelyanov V.A., Baranov V.V., Derechennik S.S., Prasalovich V.S. Stabilization of noise parameters during annealing of highly alloyed structures of noise diodes. Doklady BGUIR. 2021;19(6):32-41. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-6-32-41

Просмотров: 71


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)