Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

Двулучевая лазерная очистка кварцевого сырья

https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-40-48

Полный текст:

Аннотация

В  работе  выполнено  численное  моделирование  лазерной  сепарации  при  воздействии лазерных  пучков  с  длинами  волн,  равными  10,6  и  1,06  мкм,  на  кварцевое  сырье,  используемое в электронной промышленности при изготовлении фотошаблонов. Выполнено сравнение температурных полей,  полученных  при  моделировании  методом  конечных  элементов и  с  помощью  аналитического решения.  Распределение  температуры  до  глубины  50  мкм  практически  совпадает  при  использовании обеих методик решения, при этом с увеличением глубины разница температур возрастает на 10 %, что позволяет  использовать  обе  методики  решения,  так  как  на  практике  более  важным  является распределение  температур  в  приповерхностных  слоях,  которое  определяет  формирование  агломератов с примесными  включениями.  Выявлено,  что  эффективность  сепарации кварцевого  сырья  зависит  от скорости  обработки  и  энергетических  свойств  лазерного  излучения,  что  позволяет  подобрать оптимальные  параметры  обработки, обеспечивающие  эффективное  образование  агломератов, содержащих примесные включения. Проведены экспериментальные исследования двулучевой лазерной очистки  кварцевого  сырья,  которые  позволили  определить  оптимальные  параметры  обработки кварцевого  сырья  для  эффективной  очистки  его  от  примесных  включений,  что  обеспечивает возможность  изготовления  фотошаблонов  с  улучшенными  эксплуатационными  характеристиками, применяемых при производстве микросхем.

Об авторах

В. А. Емельянов
ОАО«ИНТЕГРАЛ» – управляющая компания холдинга«ИНТЕГРАЛ»
Беларусь

д.т.н.,  профессор,  член-корр. Национальной  академии  наук  Беларуси,  член Международного  института  инженеров  по 
электротехнике  и  электронике,  заслуженный изобретатель Республики Беларусь



Е. Б. Шершнев
Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины
Беларусь

к.т.н., доцент, заведующий кафедрой общей  физики

246019, г. Гомель, ул. Советская, 104

тел. 8-0232-50-38-17



С. И. Соколов
Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины
Беларусь

Соколов Сергей Иванович, старший преподаватель  кафедры общей  физики

246019, г. Гомель, ул. Советская, 104

тел. 8-0232-50-38-17



Список литературы

1. Бокарев В., Горнев Е. Контактная литография в нанотехнологии. Наноиндустрия. 2010;5:22-25.

2. Аваков С., Овчинников В., Карпович С., Титко Е., Трапашко Г. Оптико-механические комплексы для бездефектного изготовления фотошаблонов 0,35мкм и 90 нм. Фотоника. 2007;6:35-39.

3. Иванов Г.А., Первадчук В.П. Технология производства и свойства кварцевых оптических волокон: учебное пособие. Пермь: Изд-во Пермского нац. исслед. политехнического университета; 2011.

4. Шершнев Е.Б., Никитюк Ю.В., Соколов С.И., Баевич Г.А. Моделирование двулучевой лазерной сепарации кварцевого сырья. Известия ГГУ им. Ф.Скорины. 2013;6:216-220.

5. Шершнев Е.Б., Свиридова В.В., Астахов П.В., Соколов С.И. Использование метода конечных элементов для оптимизации режимов лазерной сепарации кварцевогосырья. Международный научно-практический журнал. Чрезвычайные ситуации: образование и наука. 2012;7(2):8-13.

6. Григорьянц А.Г., Соколов А.А. Лазерная техника и технология: в7 кн. Кн. 4. Лазерная обработка неметаллических материалов: учебное пособие для вузов. Москва: Высшаяшкола; 1988.

7. Шабров Н.Н. Метод конечных элементов в расчетах деталей тепловых двигателей. Ленинград: Машиностроение; 1983.


Для цитирования:


Емельянов В.А., Шершнев Е.Б., Соколов С.И. Двулучевая лазерная очистка кварцевого сырья. Доклады БГУИР. 2021;19(3):40-48. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-40-48

For citation:


Emelyanov V.A., Shershnev E.B., Sokolov S.I. Two-beam laser purification of quartz raw material. Doklady BGUIR. 2021;19(3):40-48. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-40-48

Просмотров: 18


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)