СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ АНОДНЫХ АЛЮМООКСИДНЫХ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ В СЕРНОКИСЛОМ ЭЛЕКТРОЛИТЕ ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ
Аннотация
Представлены результаты исследования электрохимического анодирования алюминиевой фольги и тонких алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в сернокислом электролите высокой концентрации при разных напряжениях формовки. Показано, что при увеличении напряжения формовки более 16 В происходит формирование трубчатой структуры анодного оксида, большую часть которого составляет гидрооксид алюминия. При этом коэффициент роста толщины анодных пленок увеличивается до 3, а коэффициент формовки гексагональных ячеек снижается до 2,2 нм/В.
Об авторах
С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
О. В. Купреева
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. Б. Высоцкий
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. И. Чевычелов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. С. Летохо
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Chu S., Wada K., Inoue S. et. al. // Adv. Mater. 2005. Vol. 17. P. 2115.
2. Lee W // Corrosion 2010. Vol. 62. № 6. P. 57-63.
3. Lazarouk S., Katsouba S., Demianovich A. et. al. // Solid-State Electronics. 2000. Vol. 44. P. 815-818.
4. Maeda T., Hiroshima K. // Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) L1004
5. Lazarouk S., Muravski A., Sasinovich D. et. al. // Japanese Journal of Applied Physics. 2007. Vol. 46, № 10A. P. 6889-6892.
6. Кацуба П.С., Лешок А.А., Высоцкий В.Б. и др. // Докл. БГУИР. 2012. № 69. С. 54-59.
7. Lazarouk S., Sasinovich D., Borisenko V. et. al. // J. of Applied Physics 107. 2010. 033527-1-5.
8. Lazarouk S., Baranov I, Maello G. et. al. // J. of Electrochemical Society. 1994. Vol. 141. P. 2556-2559.
9. Лазарук С.К., Лешок А.А., Лабунов В.А. и др. // Физика и техника полупроводников. 2005. Т. 39, вып. 1. С. 149-152.
Рецензия
Для цитирования:
Лазарук С.К., Купреева О.В., Высоцкий В.Б., Чевычелов А.И., Летохо А.С. СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ АНОДНЫХ АЛЮМООКСИДНЫХ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ В СЕРНОКИСЛОМ ЭЛЕКТРОЛИТЕ ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ. Доклады БГУИР. 2014;(3):5-11.
For citation:
Lazarouk S.K., Kupreeva O.V., Vysotski V.B., Chavychelau A.I., Letoho A.S. Structure and element composition of anodic alumina films formed in high concentrated sulfuric electrolyte. Doklady BGUIR. 2014;(3):5-11. (In Russ.)
Просмотров: 435
Послать статью по эл. почте 