Для цитирования:

Соловьев Я.А., Пилипенко В.А. ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ХРОМА НА КРЕМНИИ. Доклады БГУИР. 2019;(7-8):157-164. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-126-8-157-164

For citation:

Solovjov J.A., Pilipenko V.A. EFFECT OF RAPID THERMAL TREATMENT CONDITIONS ON ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF CROMIUM THIN FILMS ON SILICON. Doklady BGUIR. 2019;(7-8):157-164. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-126-8-157-164