Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

РАСЧЕТ ДЖОУЛЕВА ТЕПЛА ВНУТРИ БАРЬЕРНОГО СЛОЯ ПОРИСТОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ ПРИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОМ АНОДИРОВАНИИ

Полный текст:

Аннотация

Обсуждается выделение джоулева тепла в ходе процесса электрохимического анодирования алюминия в электролитах на основе водных растворов серной и щавелевой кислот. Разработаны модель, алгоритм и проведен расчет тепловой мощности, выделенной в единице объема барьерного слоя оксида алюминия с различной пористостью пленки. Установлено, что при низкой пористости исследуемых структур тепловыделение в области границы дна поры значительно превышает тепловыделение в других областях пористого оксида, что приводит к локальному разогреву этих мест и появлению микроплазменных образований во время процесса анодирования. Приведены рекомендации по увеличению эффективности теплоотвода, позволяющие улучшить равномерность формируемых пористых пленок.

Об авторах

П. С. Кацуба
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


А. А. Лешок
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


В. Б. Высоцкий
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Список литературы

1. Lazarouk S., Katsouba S., Leshok A., et. al. // Microelectronic Engineering. 2000. Vol. 50. №1-4. P. 321-327.

2. Katsuba P., Jaguiro P., Lazarouk S., et. al. // Physica E. Low-dimensional Systems and Nanostructures. 2009. Vol. 41. P.931-934.

3. S.K. Lazarouk, A.A. Leshok, V.A. Labunov, et. al. // Semiconductors. 2005. Vol. 39. №1. P. 149-152.

4. Chu S., Wada K., Inoue S., et. al. // Adv. Mater. 2005. Vol. 17. P. 2115.

5. Lazarouk S., Baranov I, Maello G., et. al. // Journal of Electrochemical Society. 1994. Vol. 141. P. 2556-2559.

6. Lazarouk S., Sasinovich D., Borisenko V., et. al. // Journal of Applied Physics. 2010. Vol. 107. P. 1-5.

7. Юнг Л. // Анодные оксидные пленки. Л., 1961.

8. Lee W., Kim J., Cosele V. // Adv. Funct. Mater. 2010. Vol. 20. P. 21-27.

9. Lazarouk S., Katsouba S., Leshok A., et. al. // Microelectronic Engineering. 2000. Vol. 50. №1-4. P. 321-327.

10. Katsuba P., Jaguiro P., Lazarouk S., et. al. // Physica E. Low-dimensional Systems and Nanostructures. 2009. Vol. 41. P.931-934.

11. S.K. Lazarouk, A.A. Leshok, V.A. Labunov, et. al. // Semiconductors. 2005. Vol. 39. №1. P. 149-152.

12. Chu S., Wada K., Inoue S., et. al. // Adv. Mater. 2005. Vol. 17. P. 2115.

13. Lazarouk S., Baranov I, Maello G., et. al. // Journal of Electrochemical Society. 1994. Vol. 141. P. 2556-2559.

14. Lazarouk S., Sasinovich D., Borisenko V., et. al. // Journal of Applied Physics. 2010. Vol. 107. P. 1-5.

15. Юнг Л. // Анодные оксидные пленки. Л., 1961.

16. Lee W., Kim J., Cosele V. // Adv. Funct. Mater. 2010. Vol. 20. P. 21-27.


Для цитирования:


Кацуба П.С., Лешок А.А., Высоцкий В.Б., Лазарук С.К. РАСЧЕТ ДЖОУЛЕВА ТЕПЛА ВНУТРИ БАРЬЕРНОГО СЛОЯ ПОРИСТОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ ПРИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОМ АНОДИРОВАНИИ. Доклады БГУИР. 2012;(7):55-60.

For citation:


Katsuba P..., Leshok A..., Vysotskiy V..., Lazarouk S... JOULE HEAT CALCULATION IN POROUS ALUMINA BARRIER LAYER DURING ELECTROCHEMICAL ANODIZING PROCESS. Doklady BGUIR. 2012;(7):55-60. (In Russ.)

Просмотров: 58


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)