Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
Том 18, № 6 (2020) Исследование влияния условий подачи озоно-воздушной смеси на процесс удаления фоторезиста с поверхности кремниевой пластины Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
О. И. Тихон, С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, А. Л. Барахоев, П. В. Камлач
"... on the photoresist removal rate. They showed that a decrease in the distance reduces the ozone loss due to thermal ..."
 
№ 7 (125) (2019): Спецвыпуск СВЕТОДИОДНАЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ УСТАНОВКА ЭКСПОНИРОВАНИЯ С РЕГУЛИРУЕМЫМ ВРЕМЕНЕМ ЭКСПОЗИЦИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. Е. Челяпин, П. С. Бегунов, Ю. В. Трофимов, Г. К. Жавнерко
"... -film photoresists due to uniform irradiation with ultraviolet light-emitting diodes are investigated ..."
 
№ 5 (2018) КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ КОНТРОЛЬ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. Ф. Сенько, А. С. Сенько, В. А. Зеленин
"... Проведен расчет светотеневых изображений поверхностей полупроводниковых пластин кремния, полученных ..."
 
Том 18, № 1 (2020) ВЛИЯНИЕ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН НА МЕХАНИЗМ ИХ АНОДИРОВАНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Н. Л. Гревцов, А. В. Клименко, А. Д. Гурбо, В. П. Бондаренко
"... Проведено исследование влияния кристаллографической ориентации кремниевых пластин на процесс ..."
 
№ 1 (2016) ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ СТРУКТУРЫ ТИТАНОВЫХ ИМПЛАНТАТОВ НА РЕАКЦИЮ СО СТОРОНЫ КОСТНОЙ ТКАНИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. К. Лазарук, О. В. Купреева, Д. В. Исаев, Ф. А. Горбачев, А. С. Ластовка
"... Исследовано влияние состояния поверхности крепежных накостных титановых пластин и шурупов на рост ..."
 
№ 2 (2017) ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
М. В. Тумилович, Л. П. Пилиневич, А. М. Тарайкович, В. Е. Толстик, Г. А. Шеко
"... кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения. ..."
 
№ 4 (2019) РОБОТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев
"... кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой ..."
 
Том 18, № 7 (2020) Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев
"... Настоящая работа посвящена установлению зависимости температуры нагрева кремниевой пластины при ..."
 
№ 7 (125) (2019): Спецвыпуск APPLICATIONS OF UV-LIGA AND GRAYSCALE LITHOGRAPHY FOR DISPLAY TECHNOLOGIES Аннотация  похожие документы
I. V. Timoshkov, A. V. Khanko, V. I. Kurmashev, D. V. Grapov, A. A. Kastevich, G. A. Govor, A. K. Vetcher
"... and it was demonstrated the possibility to produce controllable real 3D relief on the SU-8 photoresist. Thus ..."
 
№ 8 (2013) ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. А. Хмыль, И. И. Кузьмар, Л. К. Кушнер, Н. В. Богуш, М. М. Борисик, С. М. Завадский
"... нестационарных режимов электролиза позволяет снизить их боковое разрастание и разновысотность по пластине ..."
 
№ 1 (2012) ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ НИКЕЛЯ В МЕЗОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. Л. Долгий, С. Л. Прищепа, В. А. Петрович, В. П. Бондаренко
"... монокристаллических кремниевых пластин сформированы слои мезопористого кремния. Электрохимическим методом в пористый ..."
 
№ 8 (2015) АНАЛИЗ УСЛОВИЙ ВОЗБУЖДЕНИЯ СВЧ-РАЗРЯДА НИЗКОГО ВАКУУМА В ПЛАЗМОТРОНЕ РЕЗОНАТОРНОГО ТИПА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, М. С. Лушакова
"... около 9000 см3 и помещении в СВЧ-разряд разного количества кремниевых пластин. Результаты расчетов ..."
 
№ 8 (2018) РЕЖИМЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ СИСТЕМЫ Рt-Si ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДА ПЛАТИНЫ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко
"... Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пластины ..."
 
№ 3 (2014) СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ АНОДНЫХ АЛЮМООКСИДНЫХ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ В СЕРНОКИСЛОМ ЭЛЕКТРОЛИТЕ ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. К. Лазарук, О. В. Купреева, В. Б. Высоцкий, А. И. Чевычелов, А. С. Летохо
"... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в сернокислом электролите высокой концентрации при ..."
 
№ 7 (2014) ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Д. А. Сасинович, В. Б. Высоцкий, С. К. Лазарук
"... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных ..."
 
№ 7 (2014) ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ДИСПЛЕЙНЫХ И ОПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВАХ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Ю. В. Тимошков, В. И. Курмашев, А. А. Сакова, В. Ю. Тимошков
"... , поляризаторы, оптические функциональные слои, фазовые пластины (Optical Retarders ..."
 
№ 3 (2015) ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО АНОДИРОВАНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Е. Б. Чубенко, С. В. Редько, А. И. Шерстнев, В. А. Петрович, В. П. Бондаренко
"... Приведены результаты формирования слоев пористого кремния в пластинах монокристаллического кремния ..."
 
Том 18, № 2 (2020) ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕННЫХ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА МИКРОСТРУКТУРУ СИСТЕМЫ Pt-Si Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Горушко
"... облучения обратной стороны пластины некогерентным световым потоком в среде азота в диапазоне температур от ..."
 
Том 18, № 3 (2020) Лавинные светодиоды на основе наноструктурированного кремния для оптических межсоединений Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Ле Динь Ви, А. А. Лешок, А. В. Долбик, С. Л. Перко, С. К. Лазарук
"... кремниевой пластины, используемой для передачи светового сигнала. Проведено исследование различных режимов ..."
 
Том 18, № 3 (2020) Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко
"... двуокиси кремния на нерабочей стороне пластины. Проведение такой обработки позволяет, по сравнению со ..."
 
Том 18, № 3 (2020) Электронно-микроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. A. Горушко
"... нерабочей стороны пластины некогерентным световым потоком в атмосфере азота в течение 7 с при температурах ..."
 
1 - 21 из 21 результатов

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)