Сортировать по:
Выпуск | Название | |
Том 19, № 4 (2021) | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. С. Ковальчук, А. А. Омельченко, В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, Д. В. Шестовский | ||
"... полное снятие оксида кремния, после пластины подвергались химической очистке по технологии Radio ..." | ||
Том 19, № 4 (2021) | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Н. К. Толочко | ||
"... подложку диаметром 100 мм получены пленки оксида ванадия (VOx) с неравномерностью толщины менее ±2,4 % и ..." | ||
Том 19, № 1 (2021) | Исследование процесса реактивного ионно-лучевого распыления арсенида галлия с использованием оптической эмиссионной спектроскопии | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Е. В. Телеш | ||
"... оптимальных условий формирования собственных оксидов GaAs. Источником ионов являлся плазмотрон на базе ..." | ||
Том 19, № 3 (2021) | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Т. К. То | ||
"... отжига на свойства пленок оксида ванадия VOx, осажденных методом реактивного магнетронного ..." | ||
1 - 4 из 4 результатов |
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)