bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-776Research ArticleСтатьиДИНАМИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО СОГЛАСОВАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ СИСТЕМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА И ВЫХОДНОГО ТРАКТА ГЕНЕРАТОРА ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ИМПУЛЬСОВThe DEVICE for DYNAMIC matching OF gas GLOW DISCHARGE PLASMA system AND output tract of Electric Pulse GeneratorГодунД. В.GodunD. V.noemail@neicon.ruБордусовС. В.BordusauS. V.noemail@neicon.ruДостанкоА. П.DostankoA. P.noemail@neicon.ruБожкоА. И.BozhkoA. I.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarus20160306201907269273Copyright © Годун Д.В., Бордусов С.В., Достанко А.П., Божко А.И., 20192019Годун Д.В., Бордусов С.В., Достанко А.П., Божко А.И.Godun D.V., Bordusau S.V., Dostanko A.P., Bozhko A.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/776

Для снижения реактивности тлеющего импульсного разряда разработано и опробовано устройство ступенчатого согласования канала связи силового каскада генератора возбуждающих плазму электрических импульсов и плазменного разряда, представляющего собой динамическую нагрузку. Особенностью данного устройства является применение програмно-управляемого в широком диапазоне индуктивного элемента. Использование смешанных узлов аналоговой и цифровой схемотехники обеспечивает устойчивое регулирование индуктивности от 600 мкГн до 20 мГн. Экспериментальное опробование работы устройства в составе разрядных систем Е-типа и с эффектом полого катода на частотах от 20 кГц до 60 кГц показало на уменьшение фазового сдвига между импульсами тока и напряжения разряда, и снижение величины паразитных выбросов на траекториях силовых импульсов. Это дает возможность повысить энергоэффективность процесса плазмообразования и увеличивает надежность работы импульсного генератора на плазменную нагрузку в процессах плазменной стерилизации изделий медицинского назначения.

To reduce the reactivity of a glow pulse discharge, the device for stepwise matching of the communication channel of the power stage of electric pulses generator for exciting plasma and the plasma discharge as a dynamic load was developed and tested. The peculiarity of this device is the usage of a wide range software-controlled inductive element. The using of mixed analog and digital units circuitry provides stable regulation of inductance from 600 μH to 20 mH. Experimental testing of the device with the E-type and hollow cathode discharge systems at frequencies from 20 kHz to 60 kHz showed a decrease of the phase shift between the current and the discharge voltage pulses and the reduction of the spurious emissions on power pulses trajectories. It makes possible to increase the energy efficiency of plasma process and reliability of the operation of pulse generator with plasma as a load during plasma assisted process of sterilizing medical tools.

тлеющий разрядфазовый сдвигустройство согласованияglow dischargethe phase shiftcoordination unitReferencesКорнев И.И. // Поликлиника. 2012. № 6. С. 29-31.Корнев И.И. // Поликлиника. 2012. № 6. С. 29-31.Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М., 1989.Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М., 1989.Бойко В.И. Схемотехника электронных систем. Аналоговые и импульсные устройства. СПб, 2004.Бойко В.И. Схемотехника электронных систем. Аналоговые и импульсные устройства. СПб, 2004.Godun D.V., Bordusau S.V., Dostanko A.P. // Proc. of the XXth Int. Symp. Physics of Switching Arc. Brno, Czech Republic, September 2-6, 2013. P. 151-154.Godun D.V., Bordusau S.V., Dostanko A.P. // Proc. of the XXth Int. Symp. Physics of Switching Arc. Brno, Czech Republic, September 2-6, 2013. P. 151-154.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.