bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-622Research ArticleСтатьиФОРМИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ НАНОНИТЕЙ МЕТОДОМ МЕТАЛЛ-СТИМУЛИРОВАННОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВFORMATION OF SILICON NANOWIRES BY METAL-ASSISTED CHEMICAL ETCHING AND STUDY OF ITS OPTICAL PROPERTIESБондаренкоА. В.BandarenkaH. V.noemail@neicon.ruГирельК. В.GirelK. V.noemail@neicon.ruНевзоровС. А.NiauzorauS. A.noemail@neicon.ruГончарК. А.GoncharK. A.noemail@neicon.ruТимошенкоВ. Ю.TimoshenkoV. U.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarusМосковский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет)Belarus20160306201902510Copyright © Бондаренко А.В., Гирель К.В., Невзоров С.А., Гончар К.А., Тимошенко В.Ю., 20192019Бондаренко А.В., Гирель К.В., Невзоров С.А., Гончар К.А., Тимошенко В.Ю.Bandarenka H.V., Girel K.V., Niauzorau S.A., Gonchar K.A., Timoshenko V.U.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/622

Представлены результаты исследования особенностей формирования и оптических свойств кремниевых нанонитей (КН), формируемых методом металл-стимулированного химического травления (МСХТ) монокристаллического кремния дырочного и электронного типа проводимости. Установлено, что с увеличением времени химического травления длина КН линейно возрастает. Исследованы спектры полного и зеркального инфракрасного (ИК) отражения, спектры комбинационного рассеяния (КР) света сформированных КН, а также спектры фотолюминесценции (ФЛ). Выявлено, что полоса кремния в спектре КР с увеличением времени химического травления расширяется и сдвигается в коротковолновую область.

The results of study and development of silicon nanowires (SiNWs) formation by metal-assisted chemical etching (MACE) are introduced. Linear dependence of SiNWs length from etching time is established. Total and mirror reflectance spectra, Raman scattering spectra of SiNWs and photoluminescence (PL) spectra are studied. Si band broadening and shifting to short-wave region in Raman spectra with increasing of etching time are revealed.

кремниевые нанонитиметалл-стимулированное химическое травлениеиммерсионное осаждениекомбинационное рассеяниефотолюминесценцияsilicon nanowiresmetal-assisted chemical etchingimmersion depositionRaman scatteringphotoluminescenceReferencesPal A. // Appl. Phys. Lett. 2015. Vol. 107. P. 072104-1-072104-5.Pal A. // Appl. Phys. Lett. 2015. Vol. 107. P. 072104-1-072104-5.Gonchar K.A. // J. Nanoelectron. Optoelectron. 2012. Vol. 7. P. 602-606.Gonchar K.A. // J. Nanoelectron. Optoelectron. 2012. Vol. 7. P. 602-606.Cheng H. // RSC Adv. 2015. Vol. 5. P. 52217-52225.Cheng H. // RSC Adv. 2015. Vol. 5. P. 52217-52225.Hee H. // Nanotoday. 2014. Vol. 9. P. 271-304.Hee H. // Nanotoday. 2014. Vol. 9. P. 271-304.Youngseok Y. // Mat. Sci. Semicon. Proc. 2015. Vol. 40. P. 391-396.Youngseok Y. // Mat. Sci. Semicon. Proc. 2015. Vol. 40. P. 391-396.He Y. // Nano Today. 2010. Vol. 5. P. 282-295.He Y. // Nano Today. 2010. Vol. 5. P. 282-295.Niauzorau S., Girel K., Bandarenka H. et. al. // E-MRS Fall Meeting. 2015. Abs.12-4.Niauzorau S., Girel K., Bandarenka H. et. al. // E-MRS Fall Meeting. 2015. Abs.12-4.McSweeney W. // Nano. Res. 2014. Vol. 8. P. 1395-1442.McSweeney W. // Nano. Res. 2014. Vol. 8. P. 1395-1442.Li. J. // J. Inorg. Mater. 2013. Vol. 28. P. 1207-1212.Li. J. // J. Inorg. Mater. 2013. Vol. 28. P. 1207-1212.Peng K. // Adv. Func. Mater. 2006. Vol. 16. P. 387-394.Peng K. // Adv. Func. Mater. 2006. Vol. 16. P. 387-394.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.