Гладинов Антон Дмитриевич, асп. каф. защиты информации
Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293–89–38
Gladinov Anton, Postgraduate of Information Protection Department
Minsk, P. Brovki St., 6
Тel.: +375 17 293–89–38
канд. техн. наук, доц., зав. каф. защиты информации
Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293–89–38
Cand. Sci. (Tech.), Associate Professor, Head of Information Protection Department
Minsk, P. Brovki St., 6
Тel.: +375 17 293–89–38
д-р физ.-мат. наук, проф., ректор
Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293–89–38
Dr. Sci. (Phys. and Math.), Professor, Rector
Minsk, P. Brovki St., 6
Тel.: +375 17 293–89–38
Исследованы элементный состав и структура покрытий из сплавов систем Fe–Ni и Fe–Co, сформированных электронно-лучевым испарением. Рассчитан азеотропный состав сплава Fe–Co. Показано, что сплав, содержащий 54 мас.% (∼55 ат.%) Fe и 46 мас.% (∼45 ат.%) Co, испаряется конгруэнтно. Установлено, что при скорости осаждения на подложки из полимерных материалов покрытия из указанных сплавов 5 нм/с и более поверхностный слой этих подложек разогревается до температуры выше 100 °С. Это приводит к деструкции поверхностного слоя полимера с выделением летучих составляющих и образованию рельефной поверхности покрытия. При скоростях осаждения покрытий от 0,5 до 1,0 нм/с температура подложек не превышает 50 °С, при этом снижается шероховатость поверхности покрытия и повышается его отражающая способность. Показано, что покрытия толщиной 150 нм из сплавов Fe56Ni44 и Fe55Co45 азеотропных составов, полученных при скорости нанесения 1,0 нм/с, имеют рентгеноаморфную (сплав системы Fe–Ni) или преимущественно аморфную (сплав системы Fe–Co) структуру. Исследован элементный состав покрытий и установлено, что в сплаве Fe–Ni отклонение в сторону уменьшения содержания железа в покрытии по отношению к азеотропному составило менее 5 %, а в сплаве Fe–Co – в сторону его увеличения – 18 %.
The elemental composition and structure of coatings made of Fe–Ni and Fe–Co alloys, formed by electron beam evaporation, were investigated. The azeotropic composition of the Fe–Co alloy was calculated. It was shown that the alloy containing 54 wt.% (∼55 at.%) Fe and 46 wt.% (∼45 at.%) Co evaporates congruently. It was found that at a deposition rate of coatings made of the above alloys on substrates made of polymer materials of 5 nm/s or more, the surface layer of these substrates is heated to a temperature above 100 °C. This leads to the destruction of the surface layer of the polymer with the release of volatile components and the formation of a relief coating surface. At coating deposition rates from 0.5 to 1.0 nm/s, the substrate temperature does not exceed 50 °C, while the surface roughness of the coating decreases and its reflectivity increases. It was shown that 150 nm thick coatings of Fe56Ni44 and Fe55Co45 alloys with azeotropic compositions obtained at a deposition rate of 1.0 nm/s have an X-ray amorphous (Fe–Ni system alloy) or predominantly amorphous (Fe–Co system alloy) structure. The elemental composition of the coatings was studied, and it was found that in the Fe–Ni alloy, the deviation towards a decrease in the iron content in the coating relative to the azeotropic one was less than 5 %, while in the Fe–Co alloy, the deviation towards an increase was 18 %.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.