Рассмотрены технологии электроосаждения наноструктурированых покрытий для решения проблем наноформирования сложных современных оптических систем. Описывается получение пленок на основе различных металлов и их соосаждение с частицами дисперсной фазы. Исследованы особенности заполнения наноразмерных окон, а также влияние технологических режимов на свойства полученных покрытий. Описаны перспективы применения этих материалов и технологий в современных комплексных системах, таких как голографические матрицы, поляризаторы, оптические функциональные слои, фазовые пластины (Optical Retarders), микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС).
The electroplating technology of composite nanostructured coatings for advanced optical systems is described. Preparation of patterned profiles and substrates by codeposition process with inert nanoparticles is represented. Trenches coated with nanocomposite materials are investigated, as well as the influence of technological conditions on the properties of the coatings. The prospects of these materials and technologies for advanced applications such as roll-to-roll technology (holographic matrixes), nanoimprint, optical retarders and nanograting, polarizers, functional optical layers, microoptoelectromechanical systems are considered.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.