Приводится оригинальная конструкция сенсора ионизирующих излучений на основе диэлектрических подложек с периодической системой микроотверстий. Подложки выполнены из нанопористого анодного оксида алюминия. Микроотверстия сформированы фотолитографией с последующим травлением оксида и заполнены с помощью золь-гель метода чувствительными к ионизирующему излучению слоями из CdS.
The original design of a sensor control of ionizing radiations is resulted on the basis of dielectric substrates with periodic system of micro apertures. Substrates are executed from nanoporous anodic alumina. Micro apertures are generated by a photolithography with the subsequent etching oxide and filled with the help sol-gel of a method sensitive to ionizing radiation by layers from CdS.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.