Описывается методика калибровки фотометрической системы для решения конкретной задачи оценки положения проводника, соединяющего полупроводниковую микросхему с подложкой. Строится нелинейная модель дисторсии объектива камеры, позволяющая оценить положение проводника в трехмерном пространстве с заданной точностью. Новизна описанной методики заключается в обеспечении поставленной точности измерений параметров проводника с высокой скоростью обработки.
The article describes the calibration method of the photometric system for a particular purpose of estimation position of the conductor connecting the semiconductor chip and the substrate. A nonlinear model of the camera lens distortion, which allows estimating the position of the conductor in a three-dimensional space with the required accuracy is described. The novelty of the described technique is to provide the required accuracy of conductor parameters measurement with a high processing speed.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.