bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-199Research ArticleСтатьиКОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ДИОДОВ ШОТТКИ С МОП КАНАВОЧНОЙ СТРУКТУРОЙSTRUCTURE AND techological improvments of tmbs diodesКотовВ. С.KotovV. S.noemail@neicon.ruГолубевН. Ф.GolubevN. F.noemail@neicon.ruБорисенкоВ. Е.BorisenkoV. E.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarus201303062019051216Copyright © Котов В.С., Голубев Н.Ф., Борисенко В.Е., 20192019Котов В.С., Голубев Н.Ф., Борисенко В.Е.Kotov V.S., Golubev N.F., Borisenko V.E.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/199

Проведено 2D-моделирование и экспериментальное исследование усовершенствованной конструкции и технологии изготовления диодов Шоттки с металл-окисел-полупроводник (МОП) канавочной структурой на кремнии, позволивших упростить технологический процесс на одну фотолитографию и улучшить параметры диодов.

An improved structure and technological process of trench MOS barrier Schottky (TMBS) diodes are developed and studied by 2D-simulation. The experiments performed demonstrated simplification of the technology by elimination of one photolithography and improvement of the diode parameters.

диодпроектированиетехнологияМОП структурапробивное напряжениеток утечкиReferencesMax Chen, Henry Kuo, Sweetman Kim // Power Electronics Technology. 2006. P.22-32.Max Chen, Henry Kuo, Sweetman Kim // Power Electronics Technology. 2006. P.22-32.Davide Chiola, Marina del Rey. Recessed termination for trench Schottky device without junction curvature / Патент США №7466005 B2Davide Chiola, Marina del Rey. Recessed termination for trench Schottky device without junction curvature / Патент США №7466005 B2Н. Голубев, В. Токарев, С. Шпаковский // Силовая электроника. 2005. №3. С. 30-33Н. Голубев, В. Токарев, С. Шпаковский // Силовая электроника. 2005. №3. С. 30-33

The authors declare that there are no conflicts of interest present.