bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-151Research ArticleСтатьиПРЕДВАРИТЕЛЬНАЯ ОБРАБОТКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ В СТАТИСТИЧЕСКОМ ПРОЕКТИРОВАНИИ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИPRELIMINARY EXPERIMENTAL DATA PROCESSING IN STATISTICAL IC DESIGNПавловП. Г.PavlovP. G.noemail@neicon.ruЧанТ. Ч.TranT. T.noemail@neicon.ruКостровА. И.KostrovA. I.noemail@neicon.ruНелаевВ. В.NelayevV. V.noemail@neicon.ruСтемпицкийВ. Р.StempitskyV. R.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarus201303062019021420Copyright © Павлов П.Г., Чан Т.Ч., Костров А.И., Нелаев В.В., Стемпицкий В.Р., 20192019Павлов П.Г., Чан Т.Ч., Костров А.И., Нелаев В.В., Стемпицкий В.Р.Pavlov P.G., Tran T.T., Kostrov A.I., Nelayev V.V., Stempitsky V.R.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/151

Представлены результаты исследований по выбору и практической реализации математических методов предварительного анализа и статистической обработки экспериментальных данных, полученных при обработке и интерпретации промышленных измерений результатов формирования элементов интегральных микросхем (ИМС). Предлагаемая методика позволяет исключать аномальные наблюдения в выборочных данных и проводить процедуру сглаживания результатов измерения или моделирования.

The results of researches on a choice and implementation of mathematical methods of the preliminary analysis and statistical processing of experimental data are presented. Data are received at processing and interpretation of industrial measurements of results from integrated circuits production. This technique allows not only to exclude the abnormal observations in the sample data, but also to carry out the procedure of smoothing the results of measurements or simulations.

интегральная микросхемастатистический анализстатистическое распределениеметоды сглаживаниякритерий случайноститрендReferencesKrasikov M., Nelayev V., Stempitsky V. et. al. // Proc. of SPIE. 2009. Vol. 7377-40.Krasikov M., Nelayev V., Stempitsky V. et. al. // Proc. of SPIE. 2009. Vol. 7377-40.Кулешов А.А, Нелаев В.В., Красиков М.Г. и др. // Матер. IV-й МНТК «Проблемы проектирования и производства радиоэлектронных средств», Новополоцк, 2008. С. 96.Кулешов А.А, Нелаев В.В., Красиков М.Г. и др. // Матер. IV-й МНТК «Проблемы проектирования и производства радиоэлектронных средств», Новополоцк, 2008. С. 96.Кобзарь А.И. Прикладная математическая статистика. М., 2006.Кобзарь А.И. Прикладная математическая статистика. М., 2006.Гайдышев И.П. Анализ и обработка данных: специальный справочник. СПб, 2001.Гайдышев И.П. Анализ и обработка данных: специальный справочник. СПб, 2001.Румшинский Л.З. Математическая обработка эксперимента. М., 1971.Румшинский Л.З. Математическая обработка эксперимента. М., 1971.Дэйвид Г.А. Порядковые статистики. М., 1979.Дэйвид Г.А. Порядковые статистики. М., 1979.Вeale E.M. L., Little R.J.A. // Journ. Royal. Statist. Soc. 1975. Ser. B. Vol. 37. P. 129-145.Вeale E.M. L., Little R.J.A. // Journ. Royal. Statist. Soc. 1975. Ser. B. Vol. 37. P. 129-145.Norman H.N., Bent D.H., Hull C.H. Statistical Package for the Social Sciences (SPSS). New York, 1975.Norman H.N., Bent D.H., Hull C.H. Statistical Package for the Social Sciences (SPSS). New York, 1975.Эсбенсен К. Анализ многомерных данных. Избранные главы. Черноголовка, 2005.Эсбенсен К. Анализ многомерных данных. Избранные главы. Черноголовка, 2005.Справочник по прикладной статистике. Т.2 / Под ред. Э. Ллойда. М., 1990.Справочник по прикладной статистике. Т.2 / Под ред. Э. Ллойда. М., 1990.Андерсон Т. Статистический анализ временных рядов. М., 1976.Андерсон Т. Статистический анализ временных рядов. М., 1976.Lima J. N., Casaca J. Smoothing GNSS Time Series with Asymmetric Simple Moving Averages. Symposium on Deformation Measurement and Analysis. Lisbon, 2008. P. 1-8.Lima J. N., Casaca J. Smoothing GNSS Time Series with Asymmetric Simple Moving Averages. Symposium on Deformation Measurement and Analysis. Lisbon, 2008. P. 1-8.Тьюки Дж. Анализ результатов наблюдений. Разведочный анализ. М., 1981.Тьюки Дж. Анализ результатов наблюдений. Разведочный анализ. М., 1981.Ruey-Chyn Tsaur // Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers. 2005. Vol. 22, Is. 6. P. 521-530.Ruey-Chyn Tsaur // Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers. 2005. Vol. 22, Is. 6. P. 521-530.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.